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直流疊加脈沖偏壓電源
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產品名稱:直流疊加脈沖偏壓電源

產品類別:脈沖直流穩壓穩流電源

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產品詳情
特點
直流疊加單極性正向脈沖偏壓電源,實際上將直流偏壓電源與單極性正向脈沖偏壓電源串聯,進行有機的結合,作用是通過調節直流輸出電壓和脈沖電壓實現直流、單極脈沖和直流疊加脈沖三種偏壓模式。配合脈沖頻率和占空比調節,可控制成膜溫度,增加膜基結合力,提高沉積速率。本電源特別適用于低溫速沉積和高品質鍍膜系統。由其是在鍍制非導電介質膜時,采用高頻直流疊加脈沖電源可替代傳統的射頻電源,是非常有發展前途工藝途徑。

技術指標:
1.      交流輸入:三相380VAC
2.      功率因數:≥0.99
3.      效    率:≥86%
4.      輸出波形:直流、單極性正向脈沖、直流疊加脈沖
5.      輸出電流:0~320A  分10種規格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、          
70KW、100KW、200KW
6.      輸出電壓:直流0~1200V,脈沖0~1200V
7.      輸出頻率:1KHz~200KHz
8.      脈沖占空比:5~90%獨立連續可調
9.      工作方式:恒流、恒壓、恒功率任選
10.  穩壓精度:≤1%
11.  環境溫度:-10℃~40℃
12.  冷卻方式:風冷、水冷

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